نظرًا للخصائص الممتازة للأجزاء الخزفية مثل مقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل، فغالبًا ما يتم استخدامها في العديد من المعدات الرئيسية لأشباه الموصلات. تشتمل الأجزاء الخزفية شبه الموصلة على أذرع سيراميكية شبه موصلة، وركائز خزفية، وفوهات خزفية، ونوافذ خزفية، وأغطية تجويف خزفية، وأكواب تفريغ خزفية مسامية، وما إلى ذلك.
1. ذراع سيراميك أشباه الموصلات
في عملية عمل معدات أشباه الموصلات، هناك حاجة إلى أذرع سيراميك عند التعامل مع الرقائق، لأن رقائق السيليكون لا يمكن أن تكون ملوثة، لذلك يتم تنفيذها بشكل عام في بيئة هواء نظيفة حقيقية. في بيئة الفراغ، لا يمكن لمعظم الأذرع الميكانيكية المجهزة بمواد أخرى تلبية المتطلبات، لذلك من الضروري استخدام أذرع سيراميك ذات مقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل والصلابة العالية. عادة ما يستخدم الناس الألومينا عالية النقاء، وكربيد السيليكون لتحضير الذراع الخزفية، وهاتان المادتان الخام لهما صلابة عالية، ومقاومة التآكل ومقاومة درجات الحرارة العالية وغيرها من الخصائص الفيزيائية، وهو إعداد ذراع السيراميك مادة ممتازة. بالمقارنة مع هاتين المادتين، فإن أداء الذراع الخزفي المصنوع من كربيد السيليكون أفضل من أداء الذراع الخزفي الألومينا. ومع ذلك، بالمقارنة مع جوانب سعر المواد وصعوبة المعالجة، فإن الذراع الخزفي المصنوع من الألومينا يكون أكثر فعالية من حيث التكلفة، وعادة ما يتم استخدام الذراع الخزفي من الألومينا أكثر.
2. الركيزة السيراميكية
يتم استخدام الركيزة الخزفية بشكل أساسي في مجالات التغليف الإلكترونية المختلفة، مثل تغليف الأجهزة الإلكترونية للطاقة، والتعبئة بالليزر، وتغليف الصمام الثنائي الباعث للضوء، وحزمة التبريد الكهروحرارية، وتغليف الأجهزة الإلكترونية ذات درجة الحرارة العالية، وتغليف أجهزة الطاقة الأخرى. نظرًا لأن المادة العامة لا يمكنها تحمل درجات الحرارة العالية، في ظل الظروف العادية، تستخدم عملية التغليف الإلكترونية الموصلية الحرارية ومقاومة الحرارة والقوة العالية والموثوقية العالية لمنتجات السيراميك. غالبًا ما يستخدم الناس الألومينا ونيتريد السيليكون ومواد أخرى لتحضير ركائز السيراميك.
3 فوهة سيراميك
في HDP-CVD، يدخل غاز التفاعل إلى غرفة التفاعل من خلال فوهة سيراميكية تربط داخل الحجرة وخارجها، وبالتالي فإن جودة الفوهة تحدد بشكل مباشر نقاء غاز التفاعل ومعدل تدفقه. يشيع استخدام أكسيد الألومنيوم ونيتريد الألومنيوم لتحضير الفوهات الخزفية. نظرًا لأن سيراميك نيتريد الألومنيوم يتمتع بموصلية حرارية أفضل ومقاومة للصدمات الحرارية من أكسيد الألومنيوم، فإن الفوهات لن تسبب تلوثًا بالشوائب بسبب تآكل البلازما، ولن تسبب تلوثًا بالشوائب بسبب التشوه الحراري الناتج عن تآكل أجزاء التجميع. وهذا يضمن أن الفوهات لا تشكل أي خطر تلوث شوائب لغاز التفاعل وغرفة التفاعل، ويمكن أن تلبي بشكل أفضل متطلبات التطبيق في معدات HDP-CVD للعملية المتقدمة.
4. نوافذ السيراميك
تعد النافذة الخزفية مكونًا رئيسيًا يستخدم على نطاق واسع في آلات حفر أشباه الموصلات. كغطاء للغرفة في آلة النقش، يتم استخدامه في آلات النقش بالبلازما. يقع بين غرفة آلة الحفر وملف اقتران البلازما. إنه مصمم لنقل الترددات الراديوية (RF) وطاقة الموجات الدقيقة إلى غرفة حفر البلازما مع مقاومة التآكل الناتج عن بيئة حفر البلازما القاسية. تتميز النوافذ الخزفية الفعالة بقيم ظل زاوية منخفضة الخسارة (نفاذية عالية) عند ترددات الترددات اللاسلكية والميكروويف. إذا لم يكن الأمر كذلك، فقد يتم امتصاص الطاقة وتحويلها إلى حرارة أكثر من اللازم، مما يؤدي إلى تدهور كل من العملية (فقدان طاقة التردد اللاسلكي) والمكون (الكثير من الحرارة والتدرج الحراري). في تحضير هذا المنتج، يتم استخدام مادتين سيراميكيتين متقدمتين من الألومينا عالية النقاء وأكسيد الإيتريوم بشكل شائع، ويمكن إكمال المنتجات التي تلبي متطلبات التطبيق من خلال عمليات التشكيل والتلبيد والتشطيب الصارمة وعمليات رش السطح.
5. غطاء تجويف السيراميك
يعتبر غطاء التجويف الخزفي مكونًا وظيفيًا مستقلاً ومتكاملًا بما في ذلك القبة الخزفية ونظام التبريد ونظام التحكم الكهربائي. إنه أحد المكونات الرئيسية في معدات ترسيب الأغشية الرقيقة ذات 40 نانومتر أو أقل، وأدائه مهم لضمان جودة الرقاقة. يتم تغطية غطاء التجويف الخزفي على الجزء العلوي من الرقاقة، ويتم إغلاق تجويف جهاز CVD لتشكيل بيئة غرفة مغلقة. يمكن لأعضاء الهوائي ذات الملفات حول غطاء الجرس تطبيق طاقة عالية التردد لتشكيل مجال كهربائي مستحث لتوليد ICP (البلازما)، وإدخاله إلى الغرفة من خلال غطاء التجويف الخزفي لإجراء معالجة أيونية متساوية وحماية التقدم السلس من فيلم الترسيب. يلعب غطاء الحجرة الخزفية دورًا رئيسيًا في الختم وفرق الضغط الداخلي والخارجي ونظافة غرفة التفاعل، وهو أحد المكونات الأساسية الأكثر أهمية لمعدات الأمراض القلبية الوعائية.
6. مصاصة فراغ السيراميك
معظم المكونات الخزفية المستخدمة بشكل شائع في أجهزة أشباه الموصلات عبارة عن سيراميك كثيف، ولكن مصاصة الفراغ عبارة عن سيراميك مسامي. مادة أشباه الموصلات: رقاقة السيليكون عبارة عن مادة رقيقة وصلبة وهشة، يحتاج كلا جانبيها إلى التأريض والصقل، وما إلى ذلك. يستخدم الأشخاص عادةً كؤوس الشفط الفراغي لتحديد موقع هذا النوع من قطع العمل وتثبيته. غالبًا ما يفشل أداء مصاصة الفراغ المجهزة بالمواد التقليدية في تلبية متطلبات الاستخدام. بعد تحسين الهندسة والتكنولوجيا، يستخدم الناس بشكل شائع المواد الخزفية لصنع مصاصة الفراغ. إن مصاصة الفراغ شائعة الاستخدام عبارة عن هيكل مسامي مصنوع من مادتين خزفيتين مرتبطتين ببعضهما البعض. يتم تثبيت اللوحة الخزفية المسامية في الفتحة الغاطسة للقاعدة، والتي يتم ربطها وإغلاقها بالقاعدة، وهي مصنوعة من مادة سيراميك كثيفة غير قابلة للتنفس. على الرغم من اختلاف مواد الجزأين، إلا أن مقاومة التآكل والخصائص الميكانيكية متشابهة. وهذا يجعل مصاصة الفراغ تلبي متطلبات الاستخدام.
هناك العديد من المنتجات الخزفية لأشباه الموصلات، يمكننا توفير المنتجات وفقًا لاحتياجاتك، ونرحب باستشارتك.
